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掃描電鏡樣品前處理噴金儀不知道怎么操作?快看過來

發布時間: 2024-09-22  點擊次數: 409次
  掃描電子顯微鏡(SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,廣泛應用于材料科學、生物學、電子學等領域。為了獲得高質量的圖像,樣品的前處理至關重要,其中噴金儀作為一種常用的前處理設備,能夠有效提高樣品的導電性和成像質量。噴金儀的工作原理是利用物理氣相沉積(PVD)技術,將金屬材料(通常是金或鉑)以原子級別的薄膜形式沉積在樣品表面。

 

  掃描電鏡樣品前處理噴金儀的主要組成部分:
  1.真空腔:用于提供真空環境,確保金屬原子能夠自由沉積。
  2.金屬靶材:提供沉積材料,常用的有金、鉑、鉻等。
  3.電源系統:為靶材提供高能量電源,激發金屬蒸發。
  4.樣品架:用于固定待處理樣品,確保其在沉積過程中穩定。
  5.控制系統:用于監控和調節沉積過程中的參數,如真空度、沉積時間等。
  噴金儀的應用:
  1.提高導電性:非導電樣品(如聚合物、生物樣品等)在電子束照射下容易產生電荷積累,導致圖像失真。噴金可以有效提高樣品的導電性,減少電荷積累現象。
  2.改善成像質量:金屬薄膜的沉積可以增強樣品表面的反射能力,提高成像對比度和分辨率。
  3.保護樣品:噴金形成的金屬層可以在一定程度上保護樣品表面,防止在電子束照射下的損傷。
  掃描電鏡樣品前處理噴金儀的的操作步驟:
  1.準備樣品:將待處理樣品清洗干凈,確保表面無污染物。
  2.安裝樣品:將樣品固定在樣品架上,確保其穩定。
  3.設置真空:啟動噴金儀,抽真空至所需的真空度(通常為10^-3至10^-5Torr)。
  4.選擇靶材:根據實驗需求選擇合適的金屬靶材。
  5.調整參數:設置沉積時間、功率等參數,確保沉積過程的均勻性。
  6.開始沉積:啟動噴金過程,觀察沉積情況,確保金屬層均勻覆蓋樣品表面。
  7.結束處理:沉積完成后,關閉設備,取出樣品,準備進行掃描電鏡觀察。




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